価格
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おすすめ用途
- 極小電子部品: 実装部品の接合不良、内部配線の断線など
- 精密機械部品: 微細なクラックや異物の混入
- ICパッケージ: ボンディングワイヤーの状態、内部構造の検査
- テストプローブピン: 微細な変形や損傷を詳細に観察
特徴
- MX-90Astraは、低価格でありながら、
- メンテナンスフリーの密封型マイクロフォーカスX線発生器を標準搭載。
- 非破壊で顕微鏡のような観察を実現
- これまで捉えきれなかった微細な構造を鮮明に観察できます。
- 電動ステージ搭載により、小さいサンプルを正確に位置決め可能
MX-90Astra 仕様概要
| MX-90Astra | |||
|---|---|---|---|
| Ｘ線管 | 管電圧 | 40kV～90kV | |
| 管電流 | 最大0.2mA (最大出力:8W) | ||
| 焦点寸法 | 10μm(JIMAチャート RC-05で測定) | ||
| 管構造 | 密閉型 | ||
| X線検出器 | 蛍光体 | FOS | |
| カメラ | 210万画素産業用CMOSカメラ | ||
| 最大撮影範囲 | 約23mm×約12.5mm | ||
| ステージ面サイズ | 内寸 | (W)466×(D)316mm(突起物除く) | |
| 移動量(ストローク) | 330mm×260mm×100mm |
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| 回転軸(オプション) | 360° | ||
| 外形寸法 | (W)950×(D)960×(H)1610mm(突起物含む) | ||
| Ｘ線漏れ線量 | 1.0μSv/h以下 | ||
| 重量 | 約440kg | ||
| 画像処理 | ImageView | 画像補正（Brightness, Gamma, Contrast） 画像積算、画像平均、計測機能、 画像保存、動画保存、画面最大化 |
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| PC | 標準で付属（Win 11, デスクトップPC) | ||
| 電源 | AC100V 6A (D種接地)(PCを除く) | ||
※この装置は医療機器ではありません。
MX-90Astraによる撮影例
テストプローブピンの内部観察
LED(04×02)のワイヤーボンディングの観察
チップインダクタの観察
BGAの観察
ICを回転させながら検査した動画例
IC（集積回路）のワイヤーボンディングの様子をご覧いただけます。